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環(huán)保柜氦檢漏設(shè)備

真空設(shè)備檢漏

設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。

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真空設(shè)備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應(yīng)

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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氫氣檢漏

油霧法

油霧法的測試塵源為油霧，“量”為含油霧空氣的濁度，以過濾器前后氣樣的濁度差別來判斷過濾器對油霧顆粒的過濾效率。

德國規(guī)定使用石蠟油，油霧粒徑為0.3~0.5微米。油霧法在檢測過濾器時，容易對過濾器造成損傷，且不能直接讀值，浪費時間。

DOP法

這種方法曾經(jīng)是國際上測試過濾器海綿常用的方法。

它的測試塵源為0.3微米單分散相鄰苯二甲酸二辛酯(DOP)液滴，也稱為“熱DOP”，“量”為含DOP空氣的渾濁程度。

將DOP液體加熱成蒸汽，蒸汽在特定的條件下冷凝成微小液滴，去掉過大和過小的液滴后留下0.3微米左右的顆粒，進入風(fēng)道，通過測量過濾器前后氣樣的濁度，并由此判斷過濾器對0.3微米粉塵的過濾效率。